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一种半导体测试设备液冷系统.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种半导体测试设备液冷系统.pdf

    本实用新型公开了一种半导体测试设备液冷系统。所述半导体测试设备液冷系统包括：换热器，包括进行热交换的第一侧和第二侧；冷冻水回路，连接至所述换热器的所述第一侧，以使冷冻水流经所述第一侧；电子氟化液回路，连接至所述换热器的所述第二侧，以使电子氟化液流经所述第二侧，所述电子氟化液回路中经过所述换热器降温后的电子氟化液流至半导体测试设备为所述半导体测试设备降温。该实用新型提供一种传热效率高、散热效果好，可精准控制温度，且能避免泄露后导电短路的半导体测试设备液冷系统。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215735604 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122216188.1 (22)申请日 2021.09.14 (73)专利权人 爱美达（上海）热能系统有限公司

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