原创力文档- 1
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- 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型公开了一种集成电路生产用全自动对准机台，包括机架，所述机架的顶部中心处安装有X轴运动机构，所述X轴运动机构上安装有加工台，所述加工台的一侧中心处安装有定位架，所述定位架的底部安装有限位块，所述机架上位于X轴运动机构的一侧开设有滑槽，所述滑槽的下方安装有若干个L形气缸架，所述L形气缸架上安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的顶端安装有定位块，所述定位块的顶部一侧开设有与限位块配合使用的定位槽，所述定位槽的一侧内壁安装有行程开关，所述机架的一侧安装有电控箱。本实用新型结构新颖，构思巧妙，方便实现加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215699287 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122174323.0
(22)申请日 2021.09.09
(73)专利权人 涌淳半导体（无锡）有限公司
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