一种晶圆限位栓的偏离限位机构.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种晶圆限位栓的偏离限位机构.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆限位栓的偏离限位机构，包括晶圆载盘、升降底盘和限位栓，所述限位栓下端固定在升降底盘上，限位栓上端穿过晶圆载盘上的限位孔，所述限位栓至少为三根，相邻的限位栓之间设有一应力调节装置，所述应力调节装置包括形变支撑杆、C形抱爪和应力监控装置，所述C形抱爪背侧设有套筒部，并套在形变支撑杆两端，C形抱爪的套筒部内侧的形变支撑杆上设有外螺纹，并安装有调节螺母；所述应力监控装置安装在形变支撑杆中部，并通过信号线与系统监控中心连接。本实用新型考虑了多种尺寸晶圆兼容跑片的反应腔室中限位栓不对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731654 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122411966.2 (22)申请日 2021.10.08 (73)专利权人上海稷以科技有限公司