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一种晶圆环上料装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种晶圆环上料装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆环上料装置，涉及到上料装置领域，包括面板本体，所述面板本体的顶侧开设有圆形安装孔，所述面板本体的底侧固定连接有两个移动滑轨，两个所述移动滑轨上均滑动套接有移动滑块，两个所述移动滑块的底侧均固定连接有支撑连接架，两个所述支撑连接架的底侧固定安装有上料安装板，所述上料安装板的底侧转动安装有两个传动丝杆，其中一个所述传动丝杆的一端固定套接有转动滚轮。本实用新型通过伺服电机带动活动滚轮，滚轮带动转动滚轮转动，转动滚轮带动其中一个传动丝杆转动，传动丝杆带动两个联动轮转动，进而带动另

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215703032 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122123825.0 (22)申请日 2021.09.03 (73)专利权人 昆山英博尔电子科技有限公司

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