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晶圆电镀加工用挂具.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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晶圆电镀加工用挂具.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆电镀加工用挂具，包括挂具基板，挂具基板表面具有可放置晶圆产品的凹腔，在凹腔上扣合固定有密封背板，挂具基板表面位于凹腔的外侧设置有至少三个限位柱，限位柱朝向凹槽的一侧具有楔形块且楔形块的倾角沿同一圆周方向设置，密封背板的表面边缘对应于限位柱的位置分别开设有弧形槽，各个弧形槽为顺着同一方向设置的楔形面，密封背板的弧形槽贴合楔形块实现锁紧，其中，至少三个限位柱位于半圆形的周面上，在密封背板相对的另一侧半圆形周面上通过至少一个螺钉进行固定。本申请操作方便，能够保证电镀质量的同时，提

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713490 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122060135.5 (22)申请日 2021.08.30 (73)专利权人 苏州平成精密科技有限公司

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