一种MOCVD喷淋头用清洁设备.pdfVIP

下载本文档

5
0
约7.13千字
约 8页
2023-04-16 发布于四川
举报

一种MOCVD喷淋头用清洁设备.pdf

本实用新型公开了一种MOCVD喷淋头用清洁设备，包括安装管、清理盘、电动机；安装管上连接有密封盘；清理盘设于密封盘内，清理盘上连接有多个均匀分布的刷毛，清理盘远离刷毛的一面上连接有传动轴，传动轴的侧壁上连接有吸风扇，传动轴上固定连接有从动齿轮；电动机安装于安装管上，电动机上连接有转轴，转轴位于安装管内的一端上固定连接有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮相啮合。本实用新型通过相应机构的设置，不仅可以对MOCVD喷淋头进行清洁，提高对MOCVD喷淋头的清洁效果，同时也可以使得清洁灰尘不易飞溅，进而降低了清

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713362 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122208121.3 (22)申请日 2021.09.13 (73)专利权人江苏实为半导体科技有限公司

您可能关注的文档

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

更多 >

一种MOCVD喷淋头用清洁设备.pdfVIP

一种MOCVD喷淋头用清洁设备.pdf

您可能关注的文档

最近下载

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

相关文档