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一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置.pdf

    本申请提供了一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置，包括外壳、安装支架、阀门和排气管；外壳具有安装腔、排气通道、第一通气口。排气通道集成设置于外壳，安装腔用于安装多个晶圆处理单元，第一通气口连通安装腔和排气通道、用于连接至晶圆处理单元的排气口，排气通道连接至排气管，阀门设置于排气管上，排气管连通至外部空间或气体处理装置。外壳包括第一侧板、第二侧板、背板，共同构成槽状的安装腔；第一侧板、第二侧板、背板中至少一个具有中空结构，构成排气通道。晶圆处理装置包括多个晶圆处理单元和前述的晶圆处理装置用箱体。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731613 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122123919.8 (22)申请日 2021.09.03 (73)专利权人 上海众鸿电子科技有限公司

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