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一种蒸镀原料加热设备测试炉.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种蒸镀原料加热设备测试炉.pdf

    本实用新型公开了一种蒸镀原料加热设备测试炉，包括：支架；炉体，固定设置于支架上，其底部敞开，炉体的底端外周上固定设置有安装法兰盘；承接法兰盘，通过第一螺栓与安装法兰盘固定连接；抽真空泵，通过高压管路与炉体的侧壁连通设置；控制柜，与抽真空泵相连接。本实用新型的测试炉可对各种尺寸规格的蒸发源进行性能测试，适用性高，有效降低了测试成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215726857 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122088047.6 (22)申请日 2021.09.01 (73)专利权人 北京博宇半导体工艺器皿技术有

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