一种硅片热处理夹持机构.pdfVIP

下载本文档

0
0
约6.69千字
约 7页
2023-04-16 发布于四川
举报
版权申诉

一种硅片热处理夹持机构.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及硅片技术领域，尤其涉及一种硅片热处理夹持机构。本实用新型要解决的技术问题是不能很好的契合硅片的边缘，会对的硅片的边缘有一定的损坏；不能使硅片受热均匀。为了解决上述技术中的问题，本实用新型提供一种硅片热处理夹持机构，本实用新型由夹持机构和开合翻转机构组成，通过圆形固定夹内的内嵌块进一步固定住硅片，方便进行下一步操作，再缓慢将箱型架向内聚拢；在半圆凹型球和滚珠的作用下，圆形固定夹进行翻转，可以实现减少了对硅片的损伤，在转运过程中也不会因为细微的震动导致硅片的损坏；圆形固定夹可以翻转一定

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215757735 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202121432867.6 (22)申请日 2021.06.24 (73)专利权人青岛钲瑞热处理有限公司