一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构.pdf

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本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构；本实用新型提供了一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，在安装盘均匀周向了多个滑轨，滑轨上设置了可定位的顶块，配合定位销，实现对长方形片子固定；由于顶块位置可调，配合定位销，可适应不同尺寸的长方形片子的固定；并且长方形片子固定时受到支撑柱的作用，与安装盘不贴合，方便清洁后排液。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215696615 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122092782.4 (22)申请日 2021.09.01 (73)专利权人安徽万维克林精密装备有限公司