一种用于研磨装置的精抛液供给装置.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种用于研磨装置的精抛液供给装置.pdf

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本实用新型提供了一种用于研磨装置的精抛液供给装置,涉及研磨领域，包括存储罐、稀释罐和冷凝罐，所述稀释罐位于存储罐和冷凝罐之间，所述存储罐顶部的一侧设有进液口，所述冷凝罐一侧的下方设有出液口，所述存储罐、稀释罐和冷凝罐的底部均设有支撑座,所述存储罐顶部的一端设有加压泵，所述存储罐一侧的下端设有输液管，所述存储罐的内部设有第一搅拌装置；本实用新型通过第一搅拌叶横向转动时带动转动叶片竖向转动，使精抛液进行横向流动的同时又进行竖向流动，对高浓度精抛液搅拌的更彻底，搅拌效果更好，能有效的防止高浓度精抛液产

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215748624 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202121517828.6 (22)申请日 2021.07.05 (73)专利权人德阳精研科技（深圳）有限公司