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一种用于悬臂探针的定位工装.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种用于悬臂探针的定位工装.pdf

    本实用新型公开了一种用于悬臂探针的定位工装，属于探针定位领域。所述定位工装包括底板和用于定位多个悬臂探针针体的探针固定机构。所述底板上具有针尖点位膜、用于支撑多个所述悬臂探针的斜楔块和用于观察所述针尖点位膜的显微镜，各所述针尖点位膜上具有多个第一凹槽，所述针尖点位膜和所述斜楔块间隔布置。所述探针固定机构位于所底板上，且所述探针固定机构可在所述底板上沿X轴、Y轴和Z轴方向上移动，以调节多个所述悬臂探针的位置。本实用新型实施例提供的一种用于悬臂探针的定位工装，可以对多个探针进行辅助定位，不仅能提高定

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215728339 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122036386.X (22)申请日 2021.08.26 (73)专利权人 武汉精毅通电子技术有限公司

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