一种刻蚀机的清洗机构及刻蚀机.pdfVIP

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2023-04-17 发布于四川
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一种刻蚀机的清洗机构及刻蚀机.pdf

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本实用新型提供了一种刻蚀机的清洗机构和刻蚀机，用于硅片清洗，清洗机构包括至少两个滚轮组、喷淋管和喷淋罩；滚轮组包括相对平行成对设置的上滚轮和下滚轮，上滚轮和下滚轮之间形成硅片传输通道；喷淋管用于向硅片表面喷射清洗液；靠近清洗机构的出料端设置的滚轮组为压水滚轮组，用于将硅片表面残留液体挤压干净；沿着硅片传输通道，在压水滚轮组两侧形成进料区域和出料区域；喷淋罩设置于硅片传输通道上方并罩住压水滚轮组，喷淋罩设置有导流结构，用于将喷溅的清洗液引导至压水滚轮组的进料区域。本实用新型实施例提供的清洗机构，可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215785199 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202120372057.X (22)申请日 2021.02.10 (73)专利权人宁夏隆基乐叶科技有限公司