石英舟镀硅膜装置.pdfVIP

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2023-04-17 发布于四川
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石英舟镀硅膜装置.pdf

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本公开提供一种石英舟镀硅膜装置，其包括保持机构、运动机构、三芯喷嘴、硅烷混合气气源、氧气源、氩气源以及机架；保持机构用于保持以石英舟自身的长度方向并排排布的多个石英舟；三芯喷嘴设置于运动机构，以在运动机构的驱动下沿多个石英舟并排的方向运动；三芯喷嘴在端口处设置有内通道、中间通道和外通道，内通道、中间通道以及外通道依此嵌套并彼此间隔开，内通道连通于硅烷混合气气源，中间通道连通于氩气源，外通道连接于氧气源；三芯喷嘴的端口设置成面向保持机构且配置成面向石英舟的内腔，外通道的直径配置成大于各石英舟的内腔

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215757066 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122132433.0 (22)申请日 2021.09.03 (73)专利权人安徽光智科技有限公司