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一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板.pdfVIP

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  • 2023-04-17 发布于四川
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一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板.pdf

    本实用新型公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，包括田字型框架以及四个载板本体，四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部，四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒，所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆。本实用新型通过四个载板本体内部放入硅片后，将四个载板本体与田字型框架组装，两个弧形卡块对圆杆做限位处理，完成载板本体与田字型框架的组装，需要拆卸载板本体时，仅需按压按钮，即可取下，该载板由三层减少至二层，降低了自动化的复杂程度，且载板变小后，在冷热过程中的变形量

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215757608 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122480376.5 (22)申请日 2021.10.14 (73)专利权人 江西汉可泛半导体技术有限公司

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