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本实用新型公开了一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体、隔板、支撑板、安装板、干燥板、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，所述隔板、支撑板、安装板、干燥板在箱体内部从下到上依次设置，且隔板、支撑板、安装板、将箱体内部从上到下依次分为第一过滤腔、第二过滤腔、水洗腔，所述水洗腔中盛放有有机溶剂，且水洗腔设置有贯穿箱体的排液管，所述箱体一侧外壁设置有进气管，且箱体顶部设置有出气管。本实用新型中，废气经进气管进入箱体内部，经第一过滤腔初步过滤后再通入第二过滤腔进行除尘操作，将废气中包含的大颗粒杂质与灰
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215742480 U
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202122122268.0 B03C 3/74 (2006.01)
(22)申请日 20
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