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2023-04-17 发布于四川
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本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种视觉检测平台，其包括承载机构，承载机构包括支承组件、导向组件以及承载台，导向组件及承载台均设于支承组件上，导向组件设有导向槽；其中，当待测件处于承载状态时，待测件插入导向槽内。基于上述结构，支承组件的导向槽起到了辅助支撑、导向和限位的作用，使得待测件移动至承载台的过程中以及承载台随支承组件移动的过程中，也即，待测件处于承载状态中时，待测件通过导向槽的限位和支撑稳固地置于承载台上，有效防止待测件滑移甚至滑脱，位置不易产生偏移，提高了检测的精准度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215768288 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122036049.0 (22)申请日 2021.08.26 (73)专利权人深圳格芯集成电路装备有限公司