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- 2023-04-17 发布于四川
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本实用新型涉及薄膜电容器加工设备技术领域，提供一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置，旨在解决现有薄膜蒸镀设备对蒸镀材料的加热不够均匀，蒸镀时金属粒子的冷却效果较差，附着率较低，蒸镀材料的添加和薄膜的安装较为复杂，加工效率较低的问题，包括内部中空的机箱和机箱下端安装的多个支撑腿，所述机箱顶壁两侧竖直安装有机架，机架的上端水平架设有顶板，机箱的内腔中贯穿机箱的底壁设有蒸镀机构，机箱内腔中贯穿机箱的后壁设有冷却机构，机箱内腔中还设有送料机构；所述蒸镀机构包括设置在机箱内底壁上呈圆柱形的盛放皿，盛放皿的环形
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215799852 U
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202121168824.1
(22)申请日 2021.05.27
(73)专利权人 张家港市纳能电子科技有限公司
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