镀膜装置及镀膜设备.pdfVIP

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2023-04-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种镀膜装置及镀膜设备，镀膜装置包括底座、第一载体、第二载体及镀膜电机，第一载体包括第一连接体与第一舟片，第二载体包括第二连接体与第二舟片，第一连接体与第二连接体分设于底座的两端，第一舟片与第二舟片位于第一连接体与第二连接体之间，镀膜电极包括第一电极组与第二电极组，第一电极组与第一连接体电连接，第二电极组与第二连接体电连接；镀膜设备包括上述的镀膜装置。本实用新型中，两个电极组可以相向进行补偿，以降低电极的传输损耗，使第一舟片与第二舟片不同区域所激发的等离子强度更为均匀，提高待镀基

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215799889 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121919838.2 (22)申请日 2021.08.16 (73)专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份