一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置.pdf

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本申请公开了一种检测晶片缺陷用载物台及缺陷检测装置，属于晶片检测领域。该检测晶片缺陷用载物台包括：放置台，所述放置台包括第一镂空区，所述第一镂空区的开口用于承载待检测的晶片；所述第一镂空区用于使发射信号源发出的信号穿过所述晶片传输到接收信号源。该载物台对晶片的待检测区域无遮挡，避免在检测晶片时放置台作为背景对测试结果产生干扰，保证检测的精确度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215812368 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122033033.4 (22)申请日 2021.08.26 (73)专利权人山东天岳先进科技股份有限公司