一种带有抗震功能的激光全息光刻机.pdfVIP

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2023-04-18 发布于四川
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一种带有抗震功能的激光全息光刻机.pdf

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本实用新型公开了一种带有抗震功能的激光全息光刻机，包括工作台、送料器和清洗器，所述工作台的顶部安装有光刻箱，且光刻箱位于控制台的一侧，所述光刻箱的外壁安装有送料器，所述传送箱的内壁安装有送料箱，且送料箱位于传送带的一侧，所述工作台的内壁安装有清洗器。本实用新型通过安装有送料箱和送料器解决安放晶体时间长的问题，晶体通过滑槽进入到传送箱的内部，电机为传送带提供动力，传送带传送晶体进入到送料箱的内部，进入承托器的顶部，驱动箱带动往复丝杆转动，往复丝杆转动带动支撑板移动，支撑板移动带动液压杆移动，液压杆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215813732 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121936331.8 (22)申请日 2021.08.18 (73)专利权人苏州百聪科技有限公司