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本实用新型适用于芯片除尘技术领域，提供了一种芯片加工生产除尘设备，其特征在于：包括夹持机构、扩张机构、支撑架，所述夹持机构包括履带、夹持盘、电磁铁柱以及电磁盒体，所述电磁盒体安装在所述履带上，通过设置所述扩张柱以及所述扩张缸的配合使用，将芯片放置在密闭空间内，扩张柱向上运动，使得密闭空间内的空气密度降低，使得灰尘与芯片表面的附着力减小，通过设置气压平衡槽，可以使得密闭空间内流入空气，与外界气压相等，再通过设置电机与旋叶，形成向下的流动空气，再通过T形凸台加大空气流速，清洗芯片上的灰尘。密封支架上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215785367 U
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202122374088.1
(22)申请日 2021.09.28
(73)专利权人 深圳市洛客莱科技有限公司
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