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本实用新型公开了一种声波器件,包括衬底;位于衬底一侧的压电层;位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极;叉指电极包括两条母线以及位于两条母线之间的指状电极;指状电极交替连接两母线,相邻指状电极相互隔离;任一指状电极均包括多段指状子电极,相邻指状子电极的朝向不同。由于相邻指状子电极的朝向不同,使得声波会向多个方向传播,且各向同性。因为传播方向并不单一,不易产生横向模式,因此也能有效抑制声波器件结构的横向寄生模式。同时器件多样的形状,增加了设计度,有利于减小器件最终的尺寸,降低成本。本实用新型还提供了一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215871343 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121493258.1 H03H 9/64 (2006.01)
(22)申请日 20
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