一种声波器件以及一种滤波装置.pdfVIP

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2023-04-19 发布于北京
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一种声波器件以及一种滤波装置.pdf

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本实用新型公开了一种声波器件，包括衬底；位于衬底一侧的压电层；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括相对设置的两条母线，两条母线之间设置有至少两条指状电极，指状电极与对应的一母线相接触，与另一母线之间具有间隙，间隙形成沿母线延长线的方向延伸的间隙区域；压电层背向衬底一侧表面位于间隙区域中，未被叉指电极覆盖的区域设置有凹槽。凹槽可以减少间隙区域的压电层，使得声波能量在横向传播到叉指电极末端时，仅有少量压电材料或无压电材料继续传递，此时声波能量会被反射回有效的中间区域，从而减少横向寄生模

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215871344 U (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202121503177.5 H03H 9/64 (2006.01) (22)申请日 20