一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置.pdfVIP

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2023-04-19 发布于四川
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一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置.pdf

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本实用新型涉及晶体材料生长领域，具体的涉及一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置，包括联动控制模块：用于通过时间计算调控晶体生长过程中温度与坩埚垂直运动之间的关系的信息控制中枢；晶体生长模块：温度调控模块：用于接收联动控制模块信号对炉体加热并对炉体内的温度进行调控，并向联动控制模块发送温度信号，或作为温度控制的输入输出模块组成；坩埚运动模块：用于接收联动控制模块信号，并控制坩埚自动进行垂直运动，并反馈给联动控制模块当前运行的位置、速率和方向相关信息，通过自动控制装置及控制方法，晶体生长操作控制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215856440 U (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202122173125.2 (22)申请日 2021.09.09 (73)专利权人河南微米光学科技有限公司