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本实用新型提供一种用于化学药液桶的搬运装置,包括一搬运机主体,搬运机主体包括一支座,支座的中央连接一立柱,立柱上设有滑轨,滑轨上滑动连接一滑动部件,滑动部件沿着滑轨上下移动,滑动部件上安装有第一爪部,且滑动部件的下端部设有一下垫块,滑动部件通过铰接连接一转动部件,转动部件上安装有第二爪部,转动部件上设有上垫块,上垫块和下垫块之间连接有一弹簧;第一爪部与第二爪部构成夹爪结构,第一爪部是一弧形金属板,金属板的内侧用于与药液桶的外壁贴合,第二爪部是由三根夹棍拼接而成,三根夹棍横向拼接成一弧形结构,弧形
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215905391 U
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202121086048.0
(22)申请日 2021.05.19
(73)专利权人 上海中欣晶圆半导体科技有限公
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