一种光束平移调整装置.pdfVIP

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本实用新型涉及一种光束平移调整装置,包括摆镜组件、连接块和基座组件,其中,摆镜组件包括镜框、U型镜框安装架、镜片和第一微动锁紧机构,镜片安装在镜框中,镜框和第一微动锁紧机构均安装在U型镜框安装架上,第一微动锁紧机构能够驱动和锁定镜框绕水平轴线的转动位置,U型镜框安装架固定安装在连接块上;基座组件包括基座本体和第二微动锁紧机构,其中,连接块的下端以可沿竖向轴线转动的方式安装在基座本体上,第二微动锁紧机构安装在基座本体上,能够驱动和锁定连接块绕竖向轴线的转动位置。该光束平移调整装置可对于入射光束进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215880315 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202122373754.X (22)申请日 2021.09.28 (73)专利权人 西安中科微精光子制造科技有限

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