一种真空镀膜机的靶材保护结构.pdfVIP

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2023-04-20 发布于四川
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一种真空镀膜机的靶材保护结构.pdf

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本实用新型公开了一种真空镀膜机的靶材保护结构，包括：防护罩、转盘、支架和电动旋转平台，所述转盘底部中央通过卡接有电动旋转平台，所述防护罩一端两侧内壁通过卡接滑动连接有密封板，所述支架顶部一侧位于密封板上方通过卡接固定连接有气缸，本实用新型通过将靶材放置在转盘上阵列排布的安装槽内部，在进行镀膜前，启动气缸带动密封板以及密封条上升，使得密封条与转盘分离，启动电动旋转平台带动转盘转动固定角度后，使得需要的靶材转动至防护罩外侧溅射镀膜工位，随后控制电动旋转平台停止，控制气缸活塞杆下降，使得密封板与密封条

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215887212 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202121949923.3 (22)申请日 2021.08.19 (73)专利权人深圳市鼎力真空科技有限公司