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本实用新型涉及太赫兹光谱测量领域,更具体地,涉及一种光学延迟线装置及设置有其的太赫兹时域光谱仪。光学延迟线装置,包括底座、滑动模块、回反射镜、驱动模块、光栅尺、读数模块,滑动模块设置于底座上,回反射镜设置于滑动模块上,驱动模块用于驱动滑动模块往复运动以驱动回反射镜往复运动,其特征在于,还包括定位辅助模块;光栅尺固定于滑动模块的第一侧,跟随滑动模块往复运动;读数模块设置于底座上并位于光栅尺的一侧,读数模块与一上位机连接,用于读取光栅尺的位置信息并发送至上位机;定位辅助模块设置于底座上并与滑动模块的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215893787 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202122531778.3
(22)申请日 2021.10.20
(73)专利权人 太赫兹科技应用(广东)有限公司
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