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等离子体处理装置及其绝缘窗组件.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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等离子体处理装置及其绝缘窗组件.pdf

    一种等离子体处理装置及其绝缘窗组件，其中，所述等离子体处理装置包括：真空反应腔，其内底部设有基座，所述基座用于承载待处理基片；顶盖，位于所述真空反应腔的顶部，所述顶盖具有若干个贯穿顶盖的开口；绝缘窗槽，位于所述开口内，其底部向真空反应腔内凸出，所述绝缘窗槽内具有气体输送管道，所述气体输送管道通过绝缘窗槽的底部向真空反应腔内输送反应气体；线圈，位于所述绝缘窗槽内；射频功率源，通过匹配器与线圈连接。所述等离子体处理装置中等离子体的浓度分布可调，且能够防止线圈的温度过高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113889391 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202010633541.3 (22)申请日 2020.07.02 (71)申请人 中微半导体设备（上海）股份有限公

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