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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明提供一种镍铂合金靶材及其制法。所述镍铂合金靶材包含镍及铂并具有以下特性：一硬度指标，其数值以H表示且H大于或等于100且小于或等于150；一铂原子的含量，以所述镍铂合金靶材的总原子数为基准，所述铂原子的含量大于或等于1％且小于或等于20％，其单位以％表示时的数值为X；一平均晶粒粒径，其单位以微米表示时的数值为Y；以及一晶粒粒径变异量，其单位以％表示时的数值为Z；H、X、Y及Z满足式(I)：式(I)：H＝10000×(X÷Z)1/10÷Y；通过前述技术手段，能确保本发明的镍铂合金靶材具有合适
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113881920 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202010629763.8
(22)申请日 2020.07.03
(71)申请人 光洋应用材料科技股份有限公司
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