存储器件.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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一种存储器件,包括:衬底;有源层,其与所述衬底的表面间隔开并在第一方向上横向取向,并且包括开放的第一侧、封闭的第二侧以及在所述第一侧与所述第二侧之间的沟道层;和字线,其围绕沟道层且在与第一方向交叉的第二方向上横向取向。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113889473 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202110359928.9 (22)申请日 2021.04.02 (30)优先权数据 10-2020-0

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