一种光刻机的气缸压臂式上下板装置.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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一种光刻机的气缸压臂式上下板装置.pdf

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本发明公开了一种光刻机的气缸压臂式上下板装置，包括位于机架上的上板平台和气缸压臂上下板机构，上板平台位于气缸压臂上下板机构的一侧，气缸压臂上下板机构包括真空吸附鼓、尾板夹压臂、压板滚轮压臂、首板夹压臂和出板夹压臂，尾板夹压臂、压板滚轮压臂和首板夹压臂设置在真空吸附鼓的上方，出板夹压臂位于真空吸附鼓远离上板平台的一侧；真空吸附鼓的两端分别通过轴承固定在机架的两侧板上，且真空吸附鼓的一端与第一电机连接，真空吸附鼓的鼓面上设有燕尾槽，燕尾槽上设有固定板夹和活动板夹，活动板夹通过滑块与燕尾槽活动连接。本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113900360 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111193909.X (22)申请日 2021.10.13 (71)申请人湖南印之明智能制造有限公司