晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统.pdf

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本申请提供了一种晶圆键合的控制方法、控制装置以及键合系统，该方法包括：键合机台获取第一晶圆和第二晶圆的对准偏差，第一晶圆和第二晶圆为待键合的两个晶圆；在对准偏差大于或者等于预定阈值的情况下，键合机台对第一晶圆和/或第二晶圆进行调整，以使得调整后的对准偏差小于预定阈值；键合机台对调整后的第一晶圆和第二晶圆进行键合。该方法在键合工序确定第一晶圆和第二晶圆的对准偏差，保证了对准偏差较为准确，进而保证了根据对准偏差调整后的两片晶圆基本一致，从而保证了调整后的两片晶圆的键合精度较高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113948412 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111089507.5 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人长江存储科技有限责任公司