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碳离子产生方法、组件及离子注入设备.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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碳离子产生方法、组件及离子注入设备.pdf

    本申请实施例公开了一种碳离子产生方法、组件及离子注入设备，其中，所述碳离子产生方法包括：提供掺杂剂气体，其中，所述掺杂剂气体不含氧元素；将所述掺杂剂气体电离，得到碳离子；其中，在电离的过程中，形成的沉积物的量小于预设值。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113936984 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111073679.3 (22)申请日 2021.09.14 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司

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