气体浓度检测方法和质谱仪.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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气体浓度检测方法和质谱仪.pdf

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本发明属于质谱技术领域，提供一种气体浓度检测方法，通过获取待检测气体的标准三维数据和混合气体的混合物三维数据，建立在每个质量数下离子相对百分比含量随电子能量的变化而变化的标准关系式和混合关系式。对同一质量数下的n种待检测气体对应的标准关系式分别乘以对应的浓度系数并进行求和，且与同一质量数下的混合关系式建立等式关系形成等式方程，多个质量数对应的等式方程形成方程组，对方程组进行求解，得出的浓度系数即为对应的每种待检测气体的浓度值。如此，便可测出混合气体中每种待检测气体的浓度值。本发明提供的质谱仪，用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113945530 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111216912.9 (22)申请日 2021.10.19 (71)申请人中国计量科学研究院