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一种用于溅射涂层的多角度旋转平台及磁控溅射装置.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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一种用于溅射涂层的多角度旋转平台及磁控溅射装置.pdf

    本发明公开一种用于溅射涂层的多角度旋转平台及磁控溅射装置，包括第一外壳；第一外壳内安装有第一旋转组件；第一外壳顶部固定安装有第一中心齿轮；第一中心齿轮通过第一中心轴安装在磁控溅射装置内，且第一中心齿轮绕第一中心轴自转；第二外壳内安装有第二旋转组件；第二外壳顶部与第一外壳固定连接；第一旋转组件与第二旋转组件转动连接；旋转臂组件与第二旋转组件转动连接；且旋转臂组件两端还与第二外壳两端通过固定件固定连接；旋转臂组件底端与样品台同轴连接。本发明通过第一旋转组件，第二旋转组件和旋转臂组件的相互配合实现样品

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113913767 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111218923.0 (22)申请日 2021.10.20 (71)申请人 陕西工业职业技术学院

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