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本发明公开了一种用于抛光机的行星轮的装载装置，抛光机的行星轮具有多个通孔，装载装置包括：底盘；主板，主板与底盘相连且位于底盘的上方；挂杆，挂杆与底盘间隔开，挂杆与主板相连且沿水平方向延伸，挂杆的外周壁设有多个环形凹槽，多个环形凹槽在挂杆的长度方向上间隔开排布，环形凹槽适于与行星轮的通孔的外边沿卡接配合；柔性件，柔性件与底盘可拆卸地相连，柔性件位于相邻的两个行星轮之间以止挡防撞。根据本发明的用于抛光机的行星轮的装载装置，通过设置挂杆和柔性件，每个行星轮可利用自身重力垂放，且在上下方向上存在至少两个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113927458 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111263807.0
(22)申请日 2021.10.27
(71)申请人 徐州鑫晶半导体科技有限公司
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