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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明提供了基于可调空间的金属化薄膜蒸镀装置，包括壳体，所述壳体内设置为蒸镀腔，所述蒸镀腔的底部设置有蒸镀台，顶部设置有基板，所述蒸镀台上设置有蒸镀源，蒸镀源用于将蒸镀物质加热形成蒸镀蒸汽沉积在基板上的薄膜上；所述蒸镀腔的侧壁设置有挡块，所述挡块一端与壳体连接，调节挡块凸出于壳体的体积改变蒸镀腔的空间大小；本发明的有益效果：调节挡块凸出于壳体的体积来改变蒸镀腔的空间大小，蒸镀腔在适用于不同薄膜进行蒸镀时需要的蒸镀面积不等，调节蒸镀腔的体积，蒸镀腔体积降低，抽真空体积降低，降低了抽真空成本；将蒸发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113930740 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111108540.8
(22)申请日 2021.09.22
(71)申请人 铜陵市超越电子有限公司
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