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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明提供一种晶圆测试参数的相关性判断方法，包括：数据获取，得到N个测试参数组；对N个测试参数组分别进行数据预处理，得到N个第一参数组；对N个第一参数组降维，得到N个第二参数组；确定N个第二参数组要分组的个数k，得到k个起始质心；自动分组并进行相关性判断。采用本方法能自动识别不同测试方法下的晶圆测试参数的相关性，能快速寻找到相关性高的晶圆测试参数组，并快速进行数据分析，节约时间和成本；有利于进一步提高良率分析的准确率。本发明还提供一种晶圆测试参数的相关性判断系统，因采用本发明的一种晶圆测试的相关
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113933672 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111109950.4
(22)申请日 2021.09.18
(71)申请人 杭州广立微电子股份有限公司
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