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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明公开了一种具有探伤功能的晶圆清洗设备，涉及晶圆清洗设备技术领域。该具有探伤功能的晶圆清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱顶部设有顶盖，并且清洗箱两侧壁顶部和顶盖两侧壁底部均焊接有托板，同时两组托板通过电动推杆相连，所述清洗箱和顶盖内腔中部均安装有隔板，所述隔板用于将清洗箱和顶盖分隔成两个工作舱室，所述隔板两侧分别安装有多组第一输送辊和多组第二输送辊，并且两组第一输送辊之间设有清洗辊，所述清洗箱内腔底部和顶盖内腔顶部一侧均安装有喷水组件，本发明可对晶圆进行反复的清理，从而提高晶圆的清洗质量，并且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113926757 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111115735.5
(22)申请日 2021.09.23
(71)申请人 江苏
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