一种三维结构高增益AlGaN日盲紫外探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种三维结构高增益AlGaN日盲紫外探测器及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种三维结构高增益AlGaN日盲紫外探测器，紫外探测技术领域，包括衬底，在衬底上依次生长的缓冲层、n‑AlGaN层、i‑AlGaN层、p‑AlGaN层；i‑AlGaN层和p‑AlGaN层位于器件的有源区之间的区域均被刻蚀掉，形成被分隔开的两部分p型有源区；还包括2个p型欧姆接触电极上电极，分别位于两部分p型有源区的p‑AlGaN层的上方，上电极与p‑AlGaN层形成欧姆接触；n‑AlGaN层作为基极连接两部分pin结构，形成p‑i‑n‑i‑p结构，光照下电子在所述n‑AlGaN层聚集

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113948604 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111211405.6 (22)申请日 2021.10.18 (71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物