一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构及其制造方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构及其制造方法.pdf

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本发明公开了一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构，包括：硅基加热片和多孔陶瓷芯，硅基加热片包括加热丝和硅基衬底，加热丝制作在硅基衬底表面，硅基衬底上设置有阵列排布的雾化微孔，硅基衬底固定安装在多孔陶瓷芯上，雾化微孔连通多孔陶瓷芯。本发明还公开了一种基于MEMS硅基加热片的雾化芯结构的制造方法。本发明相较于现有技术，避免雾化芯漏液，降低加工难度，提高良品率，增加雾化芯雾化加热面积，提高温度均匀性，增大发雾量，减少干烧。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113940459 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111245466.4 A24F 40/70 (2020.01) (22)申请日 2