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本发明公开了一种机电耦合的电容式加速度传感器，该传感器整体呈现上下对称结构，包括上盖板、敏感单元和下盖板；所述上盖板与敏感单元之间、敏感单元与下盖板形成多层结构；敏感单元由敏感单元框架、敏感质量块和悬臂梁组成；敏感质量块的一端与悬臂梁相连，组成敏感单元的可动部分；敏感单元框架和盖板的介电屏蔽层连接；上盖板内的电容上极板和敏感质量块的上表面之间形成上电容间隙；下盖板内的电容下极板和敏感质量块的下表面之间形成下电容间隙。本发明解决现有电容式加速度传感器的在辐照环境下的电压漂移问题，为一种高可靠性、高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113933540 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111373866.3
(22)申请日 2021.11.19
(71)申请人 中国工程物理研究院电子工程研究
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