紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜及其制备方法.pdf

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本发明属紫外反射镜领域，尤其涉及一种紫外光固化用宽带高反射全介质膜紫外反射镜及其制备方法，包括玻璃基底和反射膜；所述反射膜由高折射率HfO2膜层和低折射率SiO2膜层依次交替沉积而成，沉积第一层和最后一层均为高折射率HfO2膜层，其膜系结构为：S|（HL）nH|A；其中：S为玻璃基底；H为高折射率膜层；L为低折射率膜层；n为膜堆循环次数；A为空气。制备方法包括基底清洗、高能离子轰击、多层膜镀制及老化处理。本发明介质膜膜层致密度高、膜层无脱落、光谱性能稳定、更换周期长，可降低多层膜散射，提高紫外光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113960705 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111225336.4 C23C 14/30 (2006.01)