一种抑制静电释放的光罩及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种抑制静电释放的光罩及其制作方法.pdf

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本申请实施例公开了一种抑制静电释放的光罩及其制作方法，该光罩包括：基板；第一导电层，所述第一导电层位于基板第一表面，并被刻蚀成特定图形；第二导电层，所述第二导电层覆盖所述第一导电层以及所述基板第一表面，使得第一导电层中相邻且不相连的线路能够导通，从而当光罩的第一导电层存在静电时，能够使得所述光罩中的所述第一导电层中相邻且不相连的线路中的静电发生中和，消除掉所述第一导电层中相邻且不相连的线路中的大部分静电，从而有助于消除所述光罩的所述第一导电层中相邻且不相连的线路上的大部分静电，抑制所述光罩发生静

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113966059 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111284303.7 (22)申请日 2021.11.01 (71)申请人泉意光罩光电科技（济南）有限公司