一种具有分选功能的晶圆片除静电装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种具有分选功能的晶圆片除静电装置.pdf

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本发明公开了一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，包括框架，所述框架一侧内壁设置有下料机构，所述下料机构包括支撑架、支撑滑轨、电机一、丝杆一、升降块、晶圆盒，所述框架内壁上连接有两个所述支撑架，所述支撑架顶部连接有所述支撑滑轨，所述支撑滑轨内设置有所述丝杆一，所述丝杆一上套设有所述升降块，所述升降块之间连接有所述晶圆盒。本发明设置有推料机构，并通过驱动机构使得推料机构能够循环进行推料操作，实现自动上料，通过接料机构将晶圆片送至除静电机构内，自动进行除静电，然后由分选机构检测晶圆片是否合格，不合格的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113990776 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111114388.4 (22)申请日 2021.09.23 (71)申请人江苏