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本发明涉及一种硅片变节距装置。该装置包括:机架,两个导轨组件,驱动组件以及两个连杆组件。驱动组件设置在机架的上部,且驱动组件分别与第一连杆组件和第二连杆组件相连,第一连杆组件的底端设置在机架上,第一连杆组件的顶端设置在第一导轨组件上,第一连杆组件上设置有两列载物架,第二连杆组件的底端设置在机架上,第二连杆组件的顶端设置在第二导轨组件上,两个连杆组件上都设置有支撑件,支撑件用于对硅片进行水平支撑,驱动组件通过驱动第一连杆组件的顶端和第二连杆组件的顶端移动,使得各个载物架的倾斜角度发生改变。本申请通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113958672 A
(43)申请公布日 2022.01.21
(21)申请号 202111084942.9
(22)申请日 2021.09.16
(71)申请人 苏州诚拓智能装备有限公司
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