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- 2023-04-23 发布于四川
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具有重复进行下述(a)和(b)的工序：(a)执行工艺制程的工序，所述工艺制程中，向收容有衬底的经加热的状态的处理容器内供给处理气体，并对衬底进行处理；和，(b)执行清洁制程的工序，所述清洁制程中，向未收容衬底的经加热的状态的处理容器内供给清洁气体，并对处理容器内进行清洁，并且，将(b)结束后至开始(a)的时间设为(a)结束后至开始(b)的时间以下。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113994457 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 201980097563.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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