压电MEMS麦克风.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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压电MEMS麦克风.pdf

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本发明公开了一种压电MEMS麦克风，包括基底和位于基底之上的一个或多个音膜，音膜包括：纵向方向堆叠的一层或多层压电层、一层或多层电极层、以及一层或多层介质层，其中，介质层位于压电层和电极层之间。本发明通过将介质层插入压电层和电极层之间，减小了流过压电层的漏电流和在压电层之中的介电损耗，减小了压电层的等效损耗角tanδ，最终提高压电MEMS麦克风的信噪比SNR，改善了压电MEMS麦克风性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113993047 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202110962909.5 (22)申请日 2021.08.20 (71)申请人天津大学地址 3